RING CARRIER AND SYSTEM FOR PROCESSING SUBSTREATE
본 발명은 링 부재를 반송하는데 사용되는 링 캐리어를 제공한다. 링 캐리어는, 판 형상을 가지는 몸체; 및 상기 링 부재의 내주와 마주하도록 상기 몸체의 상면으로부터 돌출되어 형성되는 가이드 부를 포함하고, 상기 몸체에는, 상기 링 캐리어를 정렬시 사용되는 얼라인 홀이 상기 몸체를 관통하여 형성될 수 있다. Disclosed is a ring carrier used for transferring a ring member. The ring carrier includes a body having a plate shape, and a g...
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Hauptverfasser: | , |
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; kor |
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