RING CARRIER AND SYSTEM FOR PROCESSING SUBSTREATE

본 발명은 링 부재를 반송하는데 사용되는 링 캐리어를 제공한다. 링 캐리어는, 판 형상을 가지는 몸체; 및 상기 링 부재의 내주와 마주하도록 상기 몸체의 상면으로부터 돌출되어 형성되는 가이드 부를 포함하고, 상기 몸체에는, 상기 링 캐리어를 정렬시 사용되는 얼라인 홀이 상기 몸체를 관통하여 형성될 수 있다. Disclosed is a ring carrier used for transferring a ring member. The ring carrier includes a body having a plate shape, and a g...

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Hauptverfasser: JUNG MUN GI, SON DUK HYUN
Format: Patent
Sprache:eng ; kor
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Beschreibung
Zusammenfassung:본 발명은 링 부재를 반송하는데 사용되는 링 캐리어를 제공한다. 링 캐리어는, 판 형상을 가지는 몸체; 및 상기 링 부재의 내주와 마주하도록 상기 몸체의 상면으로부터 돌출되어 형성되는 가이드 부를 포함하고, 상기 몸체에는, 상기 링 캐리어를 정렬시 사용되는 얼라인 홀이 상기 몸체를 관통하여 형성될 수 있다. Disclosed is a ring carrier used for transferring a ring member. The ring carrier includes a body having a plate shape, and a guide part protruding from an upper surface of the body to face an inner periphery of the ring member, and an alignment hole used when the ring carrier is aligned is formed in the body to pass through the body.