BEARING APPARATUS AND LASER APPARATUS COMPRISING BEARING APPARATUS

불소 가스에 대한 내식성이 우수하고, 또한 치수 정밀도나 내구성의 점에서도 우수한 베어링 장치를 제공한다. 불소 가스 환경하에서 사용하기 위한 베어링 장치가 제공된다. 베어링 장치는, 자성체 및 전자 코일을 구비한 자기 베어링과, 상기 자기 베어링을 보호하기 위한 터치다운 베어링이며, 내륜, 외륜 및 상기 내륜과 외륜의 사이에 배치된 복수의 전동체로 이루어지는 터치다운 베어링을 구비하고, 상기 터치다운 베어링의 상기 내륜 및 상기 외륜은 NiCrAl 합금으로 구성된다. An object of the invention is to provide a bearing apparatus which is superior in corrosion resistance against a fluorine gas, and superior in dimensional accuracy and durability. For achieving the object, a bearing apparatus for use in an environment where a fluorine gas exists is provided. The bearing apparatus comprises: a magnetic bearing comprising a magnetic member and an electromagnetic coil; and a touchdown bearing for protecting the magnetic bearing, wherein the touchdown bearing comprises an inner ring, an outer ring, and plural rolling members arranged between the inner ring and the outer ring, wherein the inner ring and the outer ring in the touchdown bearing are constructed by using a NiCrAl alloy.