MEMS Microphone
본 발명의 일 실시예에 따른 멤스 마이크로폰은 플렉서블(Flexible) 기판, 상기 플렉서블 기판 상에 적층되는 리지드(rigid) 기판, 상기 리지드 기판을 덮는 하우징, 상기 리지드 기판 상에 배치되는 멤스 구조체, 및 상기 멤스 구조체와 이격되어 상기 리지드 기판 상에 배치되는 신호처리소자를 포함하고, 상기 플렉서블 기판과 상기 신호처리소자는 전기적으로 연결된다....
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; kor |
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Zusammenfassung: | 본 발명의 일 실시예에 따른 멤스 마이크로폰은 플렉서블(Flexible) 기판, 상기 플렉서블 기판 상에 적층되는 리지드(rigid) 기판, 상기 리지드 기판을 덮는 하우징, 상기 리지드 기판 상에 배치되는 멤스 구조체, 및 상기 멤스 구조체와 이격되어 상기 리지드 기판 상에 배치되는 신호처리소자를 포함하고, 상기 플렉서블 기판과 상기 신호처리소자는 전기적으로 연결된다. |
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