MEMS Microphone

MEMS Microphone

본 발명의 일 실시예에 따른 멤스 마이크로폰은 기판, 상기 기판을 덮는 하우징, 상기 기판 상에 배치되는 멤스 구조체, 및 상기 멤스 구조체와 이격되어 상기 기판 상에 배치되는 신호처리소자를 포함하고, 상기 기판은 상기 멤스 구조체가 배치되는 제1 영역 및 상기 하우징이 배치되는 제2 영역을 포함하고, 상기 제1 영역의 두께는 상기 신호처리소자가 배치되는 영역의 두께보다 작다....

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	HAK HAE KIM, YOUNG KWEON KIM, MYUNG JIN HA
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	DEAF-AID SETS ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE ELECTRICITY LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKEACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY PERFORMING OPERATIONS PUBLIC ADDRESS SYSTEMS TRANSPORTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	본 발명의 일 실시예에 따른 멤스 마이크로폰은 기판, 상기 기판을 덮는 하우징, 상기 기판 상에 배치되는 멤스 구조체, 및 상기 멤스 구조체와 이격되어 상기 기판 상에 배치되는 신호처리소자를 포함하고, 상기 기판은 상기 멤스 구조체가 배치되는 제1 영역 및 상기 하우징이 배치되는 제2 영역을 포함하고, 상기 제1 영역의 두께는 상기 신호처리소자가 배치되는 영역의 두께보다 작다.