SERS SERS substrate capable of selectively controlling the intensity of Raman scattering signal and manufacturing method thereof

본 발명은 나노섬 네트워크 구조를 갖는 금속나노박막층에 의한 표면 플라즈몬 공명을 통해 라만산란신호를 강화시키는 것에 더해 MDM(metal-dielectric-metal) 구조에 의한 패브리-페로 공명(Fabry-Perot resonance)을 통해 라만산란신호의 세기를 보다 더 증폭시킬 수 있으며, 유전체층의 굴절률 조절을 통해 패브리-페로 공명 파장의 제어가 가능하여 라만분광 레이저의 파장 등 다양한 환경 하에서도 라만산란신호의 세기를 선택적으로 조절할 수 있는 SERS 기판 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	LEE JONGSU, KIM TAEHYUN, RYU YONG SANG, YU EUI SANG, JEONG EUI TAE
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	COLORIMETRY INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES MANUFACTURE OR TREATMENT THEREOF MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT,POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED,VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES MEASURING NANOSTRUCTURES FORMED BY MANIPULATION OF INDIVIDUAL ATOMS,MOLECULES, OR LIMITED COLLECTIONS OF ATOMS OR MOLECULES ASDISCRETE UNITS NANOTECHNOLOGY PERFORMING OPERATIONS PHYSICS RADIATION PYROMETRY SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES TESTING TRANSPORTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	본 발명은 나노섬 네트워크 구조를 갖는 금속나노박막층에 의한 표면 플라즈몬 공명을 통해 라만산란신호를 강화시키는 것에 더해 MDM(metal-dielectric-metal) 구조에 의한 패브리-페로 공명(Fabry-Perot resonance)을 통해 라만산란신호의 세기를 보다 더 증폭시킬 수 있으며, 유전체층의 굴절률 조절을 통해 패브리-페로 공명 파장의 제어가 가능하여 라만분광 레이저의 파장 등 다양한 환경 하에서도 라만산란신호의 세기를 선택적으로 조절할 수 있는 SERS 기판 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 라만산란신호의 세기를 선택적으로 조절할 수 있는 SERS 기판은 기판 상에 하부금속층, 유전체층, 상부금속층이 순차적으로 적층된 구조를 이루며, 상기 유전체층은 내부에 빈 공간을 구비하며, 상기 상부금속층은 나노섬 네트워크 구조를 이루며, 라만분광 레이저의 조사시 패브리-페로 공명이 발생되도록 빈 공간의 크기 조절을 통해 유전체층의 굴절률이 제어되며, 라만분광 레이저의 조사시 상부금속층의 나노섬 네트워크 구조에 의해 표면 플라즈몬 공명이 발생되는 것을 특징으로 한다.