SUBSTRATE TEMPERATURE MEASURING DEVICE SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS INCLUDING THE SAME AND SUBSTRATE TEMPERATURE MEASURING METHOD USING THE SAME

본 발명은 복수의 파장을 이용하여 기판의 온도를 측정하는 기판 온도 측정 장치를 제공하는 것이다. 본 발명의 기판 온도 측정 장치는, 기판으로부터 제공되는 제1 파장을 갖는 제1 광의 제1 광량, 제2 파장을 갖는 제2 광의 제2 광량, 및 제3 파장을 갖는 제3 광의 제3 광량을 센싱하는 센서부, 센싱된 제1 광량, 제2 광량, 및 제3 광량을 통해 제1 파장에 대한 제1 온도, 제2 파장에 대한 제2 온도, 및 제3 파장에 대한 제3 온도를 계산하는 제1 연산부, 제1 온도, 제2 온도, 및 제3 온도를 통해 기판의 방사율, 및...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	PARK HUN YONG, KIM YI HWAN, KIM YEON TAE, PARK KEE SOO, KIM JI HOON
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS COLORIMETRY ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT,POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED,VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT MEASURING PHYSICS RADIATION PYROMETRY SEMICONDUCTOR DEVICES TESTING
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