Hand for Transfer substrate

기판 이송용 핸드가 개시된다. 본 발명의 일 측면에 따른 기판 이송용 핸드는 일측방향으로 연장되는 적어도 하나의 퍼스트 핑거; 상기 퍼스트 핑거로부터 교차되는 방향으로 기판의 테두리 측을 향해 연장되는 적어도 하나의 세컨드 핑거; 상기 퍼스트 핑거 또는 세컨드 핑거 상에 구비되며, 기판을 지지하는 소프트 팁이 상기 기판이 경사되는 방향을 따라 경사 되도록, 교체 가능하게 장착되는 하드 팁 모듈;을 포함할 수 있다....

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	PARK JIO, KANG EUN GOO
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES HAND TOOLS MANIPULATORS PERFORMING OPERATIONS PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS TRANSPORTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	기판 이송용 핸드가 개시된다. 본 발명의 일 측면에 따른 기판 이송용 핸드는 일측방향으로 연장되는 적어도 하나의 퍼스트 핑거; 상기 퍼스트 핑거로부터 교차되는 방향으로 기판의 테두리 측을 향해 연장되는 적어도 하나의 세컨드 핑거; 상기 퍼스트 핑거 또는 세컨드 핑거 상에 구비되며, 기판을 지지하는 소프트 팁이 상기 기판이 경사되는 방향을 따라 경사 되도록, 교체 가능하게 장착되는 하드 팁 모듈;을 포함할 수 있다.