프로브 카드

층간 배선 상에 광 투과성의 절연막이 형성된 배선 기판으로부터의 반사광을 억제하는 것에 의해, 프로브 상에 형성된 얼라이먼트 마크를 용이하게 식별 가능하게 하는 것을 목적으로 한다. 절연막(304) 및 전극 패드(3)가 형성된 배선 기판(103)과 전극 패드(3) 상에 장착된 프로브(5)를 구비하고, 프로브(5)는, 배선 기판(103)과는 반대측으로부터 식별 가능한 얼라이먼트 마크(7)를 가지고, 얼라이먼트 마크(7)는, 배선 기판(103) 상에서 전극 패드(3) 보다도 외측에 위치하며, 절연막(304)은, 층간 배선(314)을 덮는 광 투과성의 박막이고, 절연막(304) 상의 일부의 영역에 절연막(304) 보다도 광 투과율이 낮은 반사 방지막(6)이 형성되며, 반사 방지막(6)은, 얼라이먼트 마크(7)에 대응하는 위치 및 그 주변을 포함하는 영역에 형성된다. Suppresses reflection from a circuit board including a light-transparent insulating film formed on an interlayer wiring to easily identify an alignment mark formed on a probe. The probe card comprises a circuit board 103 on which an insulating film 304 and an electrode pad 3 are formed and a probe 5 attached onto the electrode pad 3. The probe 5 has an alignment mark 7 identifiable from an opposite side of the circuit board 103. The alignment mark 7 is positioned outside of the electrode pad 3 on the circuit board 103. The insulating film 304 is a light-transmissive thin film covering an interlayer wiring 314. An anti-reflection film 6 with lower light transmittance than the insulating film 304 is formed in some regions on the insulating film 304. The anti-reflection film 6 is formed on a position corresponding to the alignment mark 7 and a region surrounding the position.