높은 TCR 기반 제어에서 신호 필터링 방식들의 사용

기판 프로세싱 시스템에서 제 1 기판 지지부의 온도를 제어하기 위한 제어기는 제 1 기판 지지부의 복수의 히터 엘리먼트들 중 제 1 히터 엘리먼트의 제 1 저항을 계산하기 위한 저항 계산 모듈, 계산된 제 1 저항에 기초하여 제1 히터 엘리먼트의 제 1 온도를 계산하기 위한 온도 계산 모듈, 및 계산된 제 1 저항에 대응하는 제 1 신호를 필터링하기 위한 필터 모듈을 포함한다. 온도 계산 모듈은 기판 프로세싱 시스템의 동작과 연관된 적어도 하나의 조건이 충족되는지의 결정에 응답하여 필터 모듈로 하여금 제 1 신호를 선택적으로 필터링하게 한다. A controller to control a temperature of a first substrate support in a substrate processing system includes a resistance calculation module to calculate a first resistance of a first heater element of a plurality of heater elements of the first substrate support, a temperature calculation module to calculate a first temperature of the first heater element based on the calculated first resistance, and a filter module to filter a first signal that corresponds to the calculated first resistance. The temperature calculation module selectively causes the filter module to filter the first signal in response to a determination of whether at least one condition associated with operation of the substrate processing system is met.