CVD RAW MATERIAL SPLIT CVD MASK ASSEMBLY FOR THIN FILM PROCESS

본 발명의 일실시예에 따르면, OLED 제조 공정에서 대면적 8세대 풀사이즈 유리기판에 사용할 CVD 마스크 조립체를 제작함에 있어서, 원자재를 복수개로 분할 접합하여 8세대 풀사이즈 유리기판의 면적에 대응하는 원장으로 생성하여 오픈 마스크 등의 패턴 시트로 제작한 후, 패턴 시트상 적어도 하나의 접합면의 상부에 CVD 박막 증착용 보조 마스크 시트 또는 복수의 가림막을 접합하여 8세대 풀사이즈 유리기판에도 적용 가능한 CVD 마스크 조립체를 생산 가능하도록 한다....

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	YOON DONG JUN
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL ELECTRICITY INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL METALLURGY SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION
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Beschreibung
Zusammenfassung:	본 발명의 일실시예에 따르면, OLED 제조 공정에서 대면적 8세대 풀사이즈 유리기판에 사용할 CVD 마스크 조립체를 제작함에 있어서, 원자재를 복수개로 분할 접합하여 8세대 풀사이즈 유리기판의 면적에 대응하는 원장으로 생성하여 오픈 마스크 등의 패턴 시트로 제작한 후, 패턴 시트상 적어도 하나의 접합면의 상부에 CVD 박막 증착용 보조 마스크 시트 또는 복수의 가림막을 접합하여 8세대 풀사이즈 유리기판에도 적용 가능한 CVD 마스크 조립체를 생산 가능하도록 한다.