Photosensitive resin composition
본 발명은 감광성 수지 조성물에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 특정 수준 이상의 유리전이온도를 갖는 호모폴리머를 제공하는 모노머로부터 유래된 중합 단위를 포함하는 알칼리 가용성 공중합체 수지, 광중합성 화합물 및 광개시제를 포함하며, 포토리소그래피 공정을 통해 패턴 형성이 가능하고, 수용성 알칼리 용액으로 제거 가능하며, 경화 후 패턴 형상을 양호하게 유지할 수 있어 LED, TFT-LCD, MEMS, 반도체 분야에서 적합하게 사용될 수 있는 감광성 수지 조성물에 관한 것이다....
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; kor |
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Zusammenfassung: | 본 발명은 감광성 수지 조성물에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 특정 수준 이상의 유리전이온도를 갖는 호모폴리머를 제공하는 모노머로부터 유래된 중합 단위를 포함하는 알칼리 가용성 공중합체 수지, 광중합성 화합물 및 광개시제를 포함하며, 포토리소그래피 공정을 통해 패턴 형성이 가능하고, 수용성 알칼리 용액으로 제거 가능하며, 경화 후 패턴 형상을 양호하게 유지할 수 있어 LED, TFT-LCD, MEMS, 반도체 분야에서 적합하게 사용될 수 있는 감광성 수지 조성물에 관한 것이다. |
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