Developing apparatus

본 발명의 실시예에 따른 현상 장치는 바디와, 바디에 고정 설치되며 가스가 유동하는 가스 유동로를 구비하는 버퍼 플레이트와, 상기 버퍼 플레이트의 상면에 고정 설치되며 상기 가스 유동로에 연결되는 가스 공급홀을 가지는 진공 플레이트 및 상기 진공 플레이트의 가장자리에 고정 설치되어 상기 가스 공급홀을 통해 제공되는 가스의 유동 경로를 제공하는 슬릿 블럭을 포함하며, 상기 슬릿 블럭은 상기 진공 플레이트와 함께 가스가 유입되는 버퍼 공간과, 상기 버퍼 공간에 연결되며 경사지게 배치되는 제1 유로를 형성한다. A developing a...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	KIM GIL JONG, LEE SUNG KI, KIM YOON SU, KIM HAK DOO, HUR DONG GEUN
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR BASIC ELECTRIC ELEMENTS CINEMATOGRAPHY ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY MATERIALS THEREFOR ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS SEMICONDUCTOR DEVICES
Online-Zugang:	Volltext bestellen
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!