기준 마커 설계, 기준 마커, 스캐닝 프로브 현미경 장치 및 프로브 팁의 위치 보정 방법

본 발명은 기준 마커 설계, 기준 마커, 스캐닝 프로브 현미경 장치 및 프로브 팁의 위치를 보정하는 방법에 관한 것이다. 상기 기준 마커 설계는 위치 결정 기준을 제공하기 위한 기준 마커로 사용될 수 있으며, 제1 센서에 대한 상기 기준 마커의 상대적 위치를 결정할 수 있도록 하기 위한 적어도 하나의 제1 기준 요소를 포함하는 적어도 하나의 제1 기준 패턴을 포함한다. 상기 제1 센서는 제1 스케일에서 동작하도록 구성된다. 상기 기준 마커는 제2 기준 패턴을 더 포함하며, 상기 제2 기준 패턴은 이를 테면 표면 좌표 정보를 내부에 인코딩하도록 구조화되거나 형상화된 마킹들의 규칙적인 배열을 포함한다. 이를 통해 제1 스케일 보다 작은 제2 스케일에서 동작하도록 구성된 제2 센서에 대한 각 마킹의 상대적 위치를 결정할 수 있다. The invention is directed at a fiducial marker design, a fiducial marker, a scanning probe microscopy device and a method of calibrating a position of a probe tip. The fiducial marker design may be used as a fiducial marker for providing a positioning reference, and comprises at least one first reference pattern including at least one first reference element for enabling determination of a relative position of the fiducial marker with respect to a first sensor. The first sensor is configured for operating at a first scale of dimension. The fiducial marker further comprises a second reference pattern, which comprises a regular arrangement of markings, structured or shaped such as to encode therein surface coordinate information. This enables determination of a relative position of each marking with respect to a second sensor configured for operating at a second scale of dimension smaller than the first scale of dimension.