전기 음향 디바이스들의 커패시터 처리를 위한 에칭 정지 및 보호층

용량성 엘리먼트(504)를 갖는 전기 음향 디바이스들(502) 및 그러한 전기 음향 디바이스들을 제조하기 위한 방법들이 제공된다. 일 예의 방법은 기판의 제1 구역(506b) 위에 음향 디바이스(502)를 형성하는 단계, 및 기판의 제2 구역(506a) 위에 그리고 음향 디바이스에 인접하게 용량성 엘리먼트(504)를 형성하는 단계를 포함한다. 용량성 엘리먼트를 형성하는 단계는 기판 위에 보호층(510)을 형성하는 단계 - 보호층의 제1 부분은 기판의 제2 구역 위에 있고, 보호층의 제2 부분은 기판의 제1 구역 위에 있음 -, 보호...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	POHLNER STEPHAN, LUKASHOV ILYA, JUNGKUNZ MATTHIAS, EGGS CHRISTOPH, ESQUIUS MOROTE MARC, FREISLEBEN STEFAN, TELGMANN THOMAS, GIESEN MARCEL
Format:	Patent
Sprache:	kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY CAPACITORS CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES ORLIGHT-SENSITIVE DEVICES, OF THE ELECTROLYTIC TYPE ELECTRICITY IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS RESONATORS
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