AUTOMATED REPLACEMENT OF CONSUMABLE PARTS USING INTERFACING CHAMBERS

The present invention relates to an automated replacement of consumable parts using interfacing chambers. A cluster tool assembly includes a vacuum transfer module and a process module having a first side connected to the vacuum transfer module. An isolation valve has the first side and a second side, and the first side of the isolation valve is coupled to the second side of the process module. A replacement station is coupled to the second side of the isolation valve. The replacement station includes a replacement handler and a part buffer. The part buffer includes multiple compartments to hold a used or new consumable part. The process module includes a lift mechanism to arrange the consumable part installed in the process module at an elevated position. The elevated position provides an excess for the replacement handler to remove the consumable part from the process module and store the part buffer in the compartment. The replacement handler of the replacement station is formed to provide replacement for the consumable part from the part buffer to the process module again. The lift mechanism accommodates the consumable part provided for the replacement by the replacement handler. Moreover, the lift mechanism is formed to drop the consumable part to an installed position. The replacement handler and the process module are replaced while the process module and the replacement station are maintained in a vacuum state. 클러스터 툴 어셈블리는 진공 이송 모듈, 진공 이송 모듈에 연결된 제 1 측면을 가진 프로세스 모듈을 포함한다. 격리 밸브는 제 1 측면 및 제 2 측면을 갖고, 격리 밸브의 제 1 측면은 프로세스 모듈의 제 2 측면에 커플링된다. 교체 스테이션은 격리 밸브의 제 2 측면에 커플링된다. 교체 스테이션은 교환 핸들러 및 부품 버퍼를 포함한다. 부품 버퍼는 새로운 소모성 부품 또는 사용된 소모성 부품을 홀딩하도록 복수의 격실들을 포함한다. 프로세스 모듈은 상승된 위치로의 프로세스 모듈 내에 설치된 소모성 부품의 배치를 가능하게 하도록 리프트 메커니즘을 포함한다. 상승된 위치는 프로세스 모듈로부터 소모성 부품의 제거 그리고 부품 버퍼의 격실 내의 저장을 가능하게 하도록 교환 핸들러에 대한 액세스를 제공한다. 교체 스테이션의 교환 핸들러는 부품 버퍼로부터 다시 프로세스 모듈로 소모성 부품에 대한 교체를 제공하도록 구성된다. 리프트 메커니즘은 교환 핸들러에 의한 교체를 위해 제공된 소모성 부품을 수용하고 그리고 소모성 부품을 설치된 위치로 하강시키도록 구성된다. 교환 핸들러 및 프로세스 모듈에 의한 교체는 프로세스 모듈 및 교체 스테이션이 진공 상태에서 유지되는 동안 실시된다.