Substrate transfer device and method for operating substrate transfer device

The present invention relates to a substrate transfer device and a method for operating the same and, more specifically, to a substrate transfer device for detecting a collision of an end-effector and a method for operating the same. According to an embodiment of the present invention, the substrate transfer device comprises: an end-effector supporting a substrate; a motor providing the power for the movement of the end effector; a collision sensor sensing the collision of the end effector; and a controller controlling the drive of the motor according to the collision detection of the collision sensor. The collision sensor includes a torque measurement part measuring the torque value of motor, a difference output part producing the torque difference value between two torque measurement values putting the time difference and measured, and a collision determination part determining a collision of the end effector based on the torque difference value. 본 발명은 기판 이송장치 및 기판 이송장치의 운용방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 엔드 이펙터(end-effector)의 충돌을 감지하는 기판 이송장치 및 기판 이송장치의 운용방법에 관한 것이다. 본 발명의 일실시예에 따른 기판 이송장치는 기판이 지지되는 엔드 이펙터; 상기 엔드 이펙터의 이동을 위한 동력을 제공하는 모터; 상기 엔드 이펙터의 충돌을 감지하는 충돌 감지부; 및 상기 충돌 감지부의 충돌 감지에 따라 상기 모터의 구동을 제어하는 제어부;를 포함하고, 상기 충돌 감지부는, 상기 모터의 토크값을 측정하는 토크측정부; 시간차를 두고 측정된 두 토크 측정값 간의 토크 차이값을 산출하는 차이값산출부; 및 상기 토크 차이값을 기반으로 상기 엔드 이펙터의 충돌을 판단하는 충돌판단부를 포함할 수 있다.