Microwave providing apparatus system including the same and method of manufacturing semiconductor device

예시적인 실시예들에 따르면, 시스템이 제공된다. 상기 시스템은, 마이크로웨이브를 생성하도록 구성된 마이크로파 소스; 상기 마이크로파 소스에 연결된 입력 포트를 포함하는 분기 장치; 상기 마이크로웨이브를 이용한 웨이퍼를 처리하도록 구성된 제1 및 제2 챔버들; 상기 제1 챔버에 상기 마이크로웨이브를 전달하거나 차단하며 상기 분기 장치의 제1 출력 포트에 연결된 제1 필터; 및 상기 제2 챔버에 상기 마이크로웨이브를 전달하거나 차단하며 상기 분기 장치의 제2 출력 포트에 연결된 제2 필터를 포함한다. Provided is a system including a microwave source configured to generate microwaves, a branch apparatus including an input port connected to the microwave source, first and second chambers configured to process a wafer by using the microwaves, a first filter configured to transfer the microwaves to or cut off the microwaves from the first chamber, and connected to a first output port of the branch apparatus, and a second filter configured to transfer the microwaves to or cut off the microwaves from the second chamber, and connected to a second output port of the branch apparatus.