전기 도금 배스들 내의 용해된 가스 농도의 제어

용존 가스의 농도는 콘택터 (contactor) 를 통해 전기 도금 용액을 따르고, 콘택터 내의 압력을 제어하고 이에 따라 전기 도금 용액의 용존 가스의 농도를 제 1 농도 범위 내로 유지함으로써 제어될 수 있다. 제 1 농도 범위는 0이 아니고 아포화 (sub-saturation) 이다. A concentration of a dissolved gas can be controlled by following an electroplating solution through a contactor, controlling a pressure...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: BLICKENSDERFER JACOB KURTIS, WILMOT FREDERICK DEAN, VENKATRAMAN KAILASH, CHUA LEE PENG, KEARNS GREGORY J, RASH ROBERT
Format: Patent
Sprache:kor
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Beschreibung
Zusammenfassung:용존 가스의 농도는 콘택터 (contactor) 를 통해 전기 도금 용액을 따르고, 콘택터 내의 압력을 제어하고 이에 따라 전기 도금 용액의 용존 가스의 농도를 제 1 농도 범위 내로 유지함으로써 제어될 수 있다. 제 1 농도 범위는 0이 아니고 아포화 (sub-saturation) 이다. A concentration of a dissolved gas can be controlled by following an electroplating solution through a contactor, controlling a pressure within the contactor, and thereby maintaining the concentration of the dissolved gas in the electroplating solution within a first concentration range. The first concentration range is non-zero and sub-saturation.