혼합 현실 (MIXED REALITY) 환경들에서의 반도체 제작 장비의 제어

본 명세서의 다양한 실시예들은 혼합 현실 (Mixed Reality; MR) 환경에서 반도체 제작 툴을 동작시키고 반도체 제작 툴과 연관된 데이터를 디스플레이하기 위한 MR 제어 플랫폼에 관한 것이다. 일부 실시 예들에서, MR 제어 플랫폼은 MR 제어 시스템 및 MR 헤드셋을 포함한다. MR 제어 시스템은 반도체 제작 툴로부터 센서 출력을 나타내는 센서 데이터를 획득할 수 있다. MR 제어 시스템은 센서 데이터에 기초하여 반도체 제작 툴과 연관된 동작 정보를 결정할 수 있다. MR 제어 시스템은 동작 정보로 하여금 MR 헤드셋으로 송신되게 할 수 있다. MR 헤드셋은 MR 제어 시스템으로부터 반도체 제작 툴과 연관된 동작 정보를 수신할 수 있다. MR 헤드셋은 하나 이상의 제어 피처들 및 동작 정보와 연관된 콘텐츠로 하여금 MR 환경에서 렌더링되게 할 수 있다. Various embodiments herein relate to a Mixed Reality (MR) control platform to operate a semiconductor manufacturing tool in an MR environment and to display data associated with the semiconductor manufacturing tool. In son embodiments, the MR control platform comprises an MR control system and an MR headset. The MR control system can obtain sensor data representative of sensor output from a semiconductor manufacturing tool. The MR control system can determine operational information associated with the semiconductor manufacturing tool and based on the sensor data. The MR control system can cause the operational information to be transmitted to the MR headset. The MR headset can receive the operational information associated with the semiconductor manufacturing tool from the MR control system. The MR headset can cause content associated with the operational information and one or more control features to be rendered in an MR environment.