소형 광학 현미경, 광학 현미경을 포함하는 측정 장치, 및 측정 장치를 포함하는 웨이퍼 포지셔닝 측정 장치

광학 현미경(1)은 물체 평면(5)에 있는 물체에 대한 이미지 평면(3)에서의 이미지를 제공하도록 구성된다. 상기 광학 현미경은 상기 물체 평면으로부터 상기 이미지 평면에 이르는 광축(6)을 따라 순서대로 제1 렌즈(7), 제2 렌즈(11) 및 제3 렌즈(14)를 구비한다. 상기 제1 렌즈(7)는 상기 물체 평면 측에 제1 렌즈면(8) 및 상기 이미지 평면 측에 제2 렌즈면(9)을 가지되, 상기 제1 렌즈면(8)은 제1 반-반사 코팅(10)을 가진다. 상기 제2 렌즈(11)는 상기 물체 평면 측에 제 3 렌즈면(12) 및 상기 이미지 평면 측에 제 4 렌즈면(13)을 가진다. 상기 제3 렌즈(14)는 상기 물체 평면 측에 제5 렌즈면(15)과 상기 이미지 평면 측에 제6 렌즈면(16)을 가지되, 상기 제6 렌즈면(16)은 제2 반-반사 코팅(17)을 가진다. 상기 광학 현미경은 사이즈가 작고, 낮은 왜곡과 낮은 필드 곡률로 전체 시야에 걸쳐 회절 제한 성능(MTF)을 제공한다. An optical microscope (1) is provided herewith that is configured to provide an image in an image plane (3) of an object in an object plane (5). The optical microscope comprises in an order along an optical axis (6) from the object plane to the image plane, a first lens (7), a second lens (11) and a third lens (14). The first lens (7) has a first lens surface (8) at the side of the object plane and a second lens surface (9) at a side of the image plane, the first lens surface having a first semi-reflective coating (10). The second lens (11) has a third lens surface (12) at the side of the object plane and a fourth lens surface (13) at a side of the image plane. The third lens (14) has a fifth lens surface (15) at the side of the object plane and a sixth lens surface (16) at a side of the image plane, the sixth lens surface having a second semi-reflective coating (17).The optical microscope is compact and provides for a diffraction-limited performance (MTF) over the full field of view with low distortion and low field curvature.