SCANNING EXPOSURE APPARATUS SCANNING EXPOSURE METHOD ARTICLE MANUFACTURING METHOD INFORMATION PROCESSING APPARATUS INFORMATION PROCESSING METHOD AND PROGRAM

주사 노광에 있어서 포커스·레벨링 제어를 정밀하게 행하기 위해 유리한 기술을 제공한다. 주사 노광장치는, 기판의 표면 높이 분포를 계측하는 계측부와, 상기 기판의 주사 노광에 있어서, 사전에 생성된 구동 제어 정보에 근거하여 상기 기판의 주사 구동을 제어하면서, 상기 계측부에 의해 계측된 상기 기판의 표면 높이 분포에 따라 상기 기판의 높이 및 기울기 중 적어도 1개를 제어하는 제어부를 구비하고, 상기 구동 제어 정보는, 주사 노광에 있어서의 상기 기판의 높이 및 기울기 중 적어도 1개를 조정하기 위한 조정 정보를 포함하고, 상기...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	KOSUGI YUJI
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR CINEMATOGRAPHY ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY MATERIALS THEREFOR ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS
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Beschreibung
Zusammenfassung:	주사 노광에 있어서 포커스·레벨링 제어를 정밀하게 행하기 위해 유리한 기술을 제공한다. 주사 노광장치는, 기판의 표면 높이 분포를 계측하는 계측부와, 상기 기판의 주사 노광에 있어서, 사전에 생성된 구동 제어 정보에 근거하여 상기 기판의 주사 구동을 제어하면서, 상기 계측부에 의해 계측된 상기 기판의 표면 높이 분포에 따라 상기 기판의 높이 및 기울기 중 적어도 1개를 제어하는 제어부를 구비하고, 상기 구동 제어 정보는, 주사 노광에 있어서의 상기 기판의 높이 및 기울기 중 적어도 1개를 조정하기 위한 조정 정보를 포함하고, 상기 제어부는, 상기 기판의 주사 노광에 있어서 상기 계측부에 의해 계측된 상기 기판의 표면 높이 분포에 근거하여 상기 구동 제어 정보를 갱신한다.