DEVICE FOR INSPECTING AND METHOD FOR INSPECTING OF DISPLAY DEVICE USING THEREOF
The present invention provides an inspection device, capable of easily detecting a foreign substance and a defect of a display device by preventing a light emitting element from being recognized as the foreign substance, and an inspection method for a display device using the same. According to an e...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; kor |
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Zusammenfassung: | The present invention provides an inspection device, capable of easily detecting a foreign substance and a defect of a display device by preventing a light emitting element from being recognized as the foreign substance, and an inspection method for a display device using the same. According to an embodiment of the present invention, the inspection device includes: a stage on which a substrate is mounted; an image obtaining unit photographing an image of the substrate; a control unit controlling a motion of the image obtaining unit; and an image processing unit determining the defect by comparing image data obtained using the image obtained by the image obtaining unit to reference image data. The image obtaining unit includes: a camera photographing the image of the substrate; a filter unit blocking light of a partial wavelength band incident to the camera; a first light radiating unit radiating light of a visible light wavelength band to the substrate; and a second light radiating unit radiating light of an ultraviolet light wavelength band to the substrate.
일 실시예에 따른 검사 장치는 기판이 안착되는 스테이지, 상기 기판의 이미지를 촬상하는 이미지 획득부, 상기 이미지 획득부의 동작을 제어하는 제어부, 및 상기 이미지 획득부로부터 얻어진 이미지를 통해 얻어진 이미지 데이터를 기준 이미지 데이터와 비교하여 결함을 판단하는 이미지 처리부를 포함하며, 상기 이미지 획득부는, 상기 기판에 대한 이미지를 촬상하는 카메라, 상기 카메라에 입사되는 일부 파장 대역의 광을 차단하는 필터부, 상기 기판에 가시광선 파장 대역의 광을 조사하는 제1 광 조사부, 및 상기 기판에 자외선 파장 대역의 광을 조사하는 제2 광 조사부를 포함할 수 있다. |
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