LED 척

피검사체가 탑재되는 톱 플레이트와, 상기 피검사체에 대향하여 배치되며, 상기 톱 플레이트에 탑재되는 피검사체를 가열하는 복수의 LED가 마련된 LED 어레이 기판과, 상기 LED 어레이 기판의 이면측에 배치되는 쿨링 플레이트와, 상기 쿨링 플레이트의 이면측에 배치되며, 상기 복수의 LED를 제어하는 LED 제어 기판과, 상기 LED 제어 기판을 둘러싸도록 배치되는 베이스 플레이트를 구비하며, 상기 쿨링 플레이트의 상기 LED 제어 기판에 대향하는 면, 및 상기 베이스 플레이트의 상기 LED 제어 기판에 대향하는 면은 자성체 재료로...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	NAKAYAMA HIROYUKI, NUKANOBU TOMOKI, KOBAYASHI DAI, MORIFUJI YOSHIYUKI, KASAI SHIGERU
Format:	Patent
Sprache:	kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC HEATING ELECTRIC LIGHTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY MEASURING MEASURING ELECTRIC VARIABLES MEASURING MAGNETIC VARIABLES PHYSICS SEMICONDUCTOR DEVICES TESTING
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