LED 척

피검사체가 탑재되는 톱 플레이트와, 상기 피검사체에 대향하여 배치되며, 상기 톱 플레이트에 탑재되는 피검사체를 가열하는 복수의 LED가 마련된 LED 어레이 기판과, 상기 LED 어레이 기판의 이면측에 배치되는 쿨링 플레이트와, 상기 쿨링 플레이트의 이면측에 배치되며, 상기 복수의 LED를 제어하는 LED 제어 기판과, 상기 LED 제어 기판을 둘러싸도록 배치되는 베이스 플레이트를 구비하며, 상기 쿨링 플레이트의 상기 LED 제어 기판에 대향하는 면, 및 상기 베이스 플레이트의 상기 LED 제어 기판에 대향하는 면은 자성체 재료로 이루어지는 LED 척. There is provided an LED chuck comprising: a top plate on which an object to be inspected is mounted; an LED array substrate disposed to face the object to be inspected, and provided with a plurality of LEDs for heating the object to be inspected that is mounted on the top plate; a cooling plate disposed on a back side of the LED array substrate; an LED control substrate disposed on a back side of the cooling plate and controlling the plurality of LEDs; and a base plate disposed to surround the LED control substrate. A surface of the cooling plate facing the LED control substrate and a surface of the base plate facing the LED control substrate are formed of a magnetic material.