하프 캐비티 및 반사 측벽을 갖춘 초고밀도 LED 어레이및 하이브리드 본딩 방법

한 가지 접근 방식에서, LED 어레이는 하프 캐비티(half cavity) 및 직선 반사 측벽의 조합을 사용하여 투영 광학계의 집광 각도 내에 더 많은 광이 들어가도록 파워 분포를 개선한다. 어레이 내 LED는 아래로부터 위쪽으로 반사기, 더 얇은 p층 및 더 두꺼운 n층을 포함한다. n층과 p층 사이의 활성 영역(예컨대, 양자 우물 영역)이 광을 생성한다. 추가 구조가 없으면, 생성된 광은 등방성 분포를 가지며 투영 광학계의 집광 각도 내에 들어오는 광의 양은 많지 않다. 그러나, 하부 반사기와 p층이 활성 영역으로부터 방출되는 광에 대해 하프 캐비티를 형성한다. 이로 인해 앵귤러 파워 분포가 변경된다. 활성 영역으로부터 n층으로 위쪽으로 연장되는 직선 반사 측벽은 또한 변경된 파워 분포의 광을 투영 광학계의 집광 각도 내로 반사한다. In one approach, an LED array uses a combination of a half cavity and straight reflective sidewalls to improve the power distribution so that more light falls within the collection angle of the projection optics. From the bottom upwards, the LEDs in the array include a reflector, a thinner p-layer and a thicker n-layer. An active region (such as quantum wells) between the n-layer and the p-layer generates light. Without additional structures, the generated light would have an isotropic distribution and not much of the light would fall within the collection angle of the projection optics. However, the bottom reflector and p- layer form a half cavity for the light emitted from the active region. This alters the angular power distribution. Straight reflective sidewalls extending from the active region upwards into the n-layer further reflect light from the altered power distribution into the collection angle of the projection optics.