METHOD AND SYSTEM FOR RECYCLING POLISHING SLURRY WASTE

An embodiment of the present invention provides a method and a system for recycling a polishing slurry waste liquid. The system comprises an agitation tank and a filter. The system comprises: a first pipe for transporting an initial polishing slurry waste liquid to a first inlet of the agitation tank; a second pipe for transporting the polishing slurry waste liquid from the agitation tank to the filter; a third pipe for transporting concentrated polishing slurry waste liquid from the filter to a second inlet of the agitation tank; a first valve for opening and closing the first pipe; a specific gravity meter for detecting a solid content of the polishing slurry waste liquid; and a controller configured to control the first valve. 본 발명의 실시예는 연삭 슬러리 폐액을 회수하기 위한 방법 및 시스템을 제공한다. 상기 시스템은 교반 탱크 및 필터를 포함한다. 상기 시스템은, 초기 연삭 슬러리 폐액을 상기 교반 탱크의 제1 입구로 수송하기 위한 제1 파이프; 연삭 슬러리 폐액을 상기 교반 탱크로부터 상기 필터로 수송하기 위한 제2 파이프; 농축된 연삭 슬러리 폐액을 상기 필터로부터 상기 교반 탱크의 제2 입구로 수송하기 위한 제3 파이프; 상기 제1 파이프를 개폐하기 위한 제1 밸브; 연삭 슬러리 폐액의 고형분 함량을 감지하기 위한 비중계; 및 상기 제1 밸브를 제어하도록 구성된 컨트롤러를 포함한다.