리사주 도형을 투영하기 위한 투영 시스템 및 커플링된 진동자를 갖는 마이크로스캐너

관측 시야 상에 리사주 도형(Lissajous figure)을 투영하기 위한 투영 시스템은 마이크로스캐너를 포함한다. 이러한 마이크로스캐너는, 입사 전자기 빔을 편향시키기 위한 편향 요소, 지지 구조물, 및 스프링 디바이스를 갖는 편향 유닛을 가지며, 편향 요소가 지지 구조물에 대해 제1 진동 축을 중심으로 하는 제1 회전 진동과 제1 진동 축에 직교하는 제2 진동 축을 중심으로 하는 제2 회전 진동을 동시에 수행하여, 동시적인 진동 동안 편향 요소 상에 입사되는 전자기 빔을 편향시킴으로써 관측 시야 내에 비선형 리사주 투영을 야기할 수 있도록 하는 방식으로, 편향 요소는 스프링 디바이스에 의하여 지지 구조물 상에 짐벌리스(gimballess) 방식으로 현수된다. 마이크로스캐너는 또한, 편향 요소의 제1 진동과 제2 진동 중 적어도 하나의 진동에 대한 각각의, 특히 공진하는, 구동 효과를 개별적으로 설정가능하도록 하는 방식으로 편향 유닛을 구동시키기 위한 구동 디바이스를 활성화시키도록 구성되는 제어 디바이스를 갖는다. 또한, 스프링 디바이스는, 진동 사이의 진폭 의존적인 상호 커플링을 매개하도록 하는 방식으로 설계된다. 제어 디바이스는 또한, 제2 진동의 적어도 하나의 상태 변수에 영향을 미침으로써 제2 진동에 구동 효과를 유도하기 위해 제1 진동의 적어도 하나의 검출되는 상태 변수의 함수로서 구동 디바이스를 활성화시키도록 구성되며, 구동 효과는 상쇄되어 제1 진동과 제2 진동의 각각의 순시 진동 주파수 사이의 미리 결정된 최소 주파수 거리 미만으로 떨어진다. A projection system for projecting Lissajous figures on an observation field includes a microscanner. This has a deflection unit having a deflection element for deflecting an incident electromagnetic beam, a support structure, and a spring device, by means of which the deflection element is suspended in a gimballess manner on the support structure in such a way that, relative to the support structure, it can simultaneously perform a first rotary oscillation around a first oscillation axis and a second rotary oscillation around a second oscillation axis orthogonal thereto to cause a non-linear Lissajous projection in an observation field by deflecting an electromagnetic beam incident on the deflection element during the simultaneous oscillations. The microscanner also has a control device that is configured to activate a drive device for driving the deflection unit in such a way that a respective, in particular resonant, drive effect with respect to at least one of the oscillations of the deflection element is settable individually. Furthermore, the spring device is designed in such a way that it mediates an amplitude-dependent mutual coupling between the oscillations. The control device is also configured to activate the drive device as a function of at least one detected state variable of the first oscillation in order to induce a drive effect on the second oscillation by influencing at least one state variable of the second oscillation, which counteracts falling below a predetermined minimum frequency distance between the respective instantaneous oscillation frequencies of the first oscillation and the second oscillation.