기판 액 처리 장치
기판 액 처리 장치는, 기판의 액 처리를 위한 처리액을 내부에 저류하는 처리조와, 처리조의 내부의 처리액의 화상을 취득하는 촬상부와, 화상의 화상 처리를 행하여 처리액 중의 기포 상태를 나타내는 기포 데이터를 취득하는 기포 데이터 취득부를 갖는 화상 처리부를 구비한다. A substrate liquid-processing apparatus includes: a processing tank storing a processing liquid for liquid-processing of a substrate within an inside...
Gespeichert in:
| Hauptverfasser: | , , |
|---|---|
| Format: | Patent |
| Sprache: | kor |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Volltext bestellen |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Zusammenfassung: | 기판 액 처리 장치는, 기판의 액 처리를 위한 처리액을 내부에 저류하는 처리조와, 처리조의 내부의 처리액의 화상을 취득하는 촬상부와, 화상의 화상 처리를 행하여 처리액 중의 기포 상태를 나타내는 기포 데이터를 취득하는 기포 데이터 취득부를 갖는 화상 처리부를 구비한다.
A substrate liquid-processing apparatus includes: a processing tank storing a processing liquid for liquid-processing of a substrate within an inside; an imager configured to acquire an image of the processing liquid of the inside of the processing tank; and an image processor comprising a bubble data acquisitor configured to perform image processing on the image and to acquire bubble data representing the state of bubbles in the processing liquid. |
|---|