HIGH THROUGHPUT DEFECT DETECTION

Provided is a method for high-throughput defect detection. The method may include the steps of: (i) performing, using first detection channels, a simultaneous inspection process through a segmented pupil plane including a plurality of pupil plane segments to select one or more pupil plane segments of interest out of the plurality of pupil plane segments; (ii) configuring one or more configurable filters related to second detection channels to pass radiation received from the one or more pupil plane segments of interest and to block radiation received from one or more pupil plane segments of no interest; and (iii) performing, using the second detection channels, a partially masked pupil plane inspection process. 고처리량 결함 검출을 위한 방법으로서, 방법은 (i) 다수의 동공 평면 세그먼트들 중에서 관심있는 하나 이상의 동공 평면 세그먼트를 선택하기 위해, 제1 검출 채널들을 사용하여, 다수의 동공 평면 세그먼트들을 포함하는 세그먼트화된 동공 평면을 통해 동시 검사 프로세스를 수행하는 단계; (ii) 관심있는 하나 이상의 동공 평면 세그먼트로부터 수신된 라디에이션을 통과시키고 관심없는 하나 이상의 동공 평면 세그먼트로부터 수신된 라디에이션을 차단하기 위해 제2 검출 채널들에 관련된 하나 이상의 구성가능한 필터를 구성하는 단계; 및 (iii) 제2 검출 채널들을 사용하여, 부분적으로 마스킹된 동공 평면 검사 프로세스를 수행하는 단계를 포함할 수 있다.