광학 조립체, 광학 요소를 변형하기 위한 방법 및, 투영 노광 시스템

본 발명은 투영 노광 시스템(100, 200)의 빔 경로에 영향을 미치기 위한 광학 요소(2) 및 광학 요소(2)를 변형시키기 위한 작동 디바이스(6)를 포함하는 광학 조립체(1)에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 작동 디바이스(6)는 적어도 하나의 광왜 구성요소(7) 및 적어도 하나의 광원(8)을 갖는다. 광왜 구성요소(7)는 광학 요소(2)를 변형시키기 위해 견인력 및/또는 압력을 전달하기 위해 광학 요소(2)에 기계적으로 결합된다. 광원(8)은 광왜 구성요소(7)에 견인력 및/또는 압력을 유도하기 위해 광왜 구성요소(7)의 목표화 조명을 위해 구성된다. An optical assembly has an optical element for influencing the beam path in a projection exposure apparatus and an actuator device for deforming the optical element. The actuator device has at least one photostrictive component and at least one light source. The photostrictive component is mechanically coupled to the optical element for the transmission of a tensile and/or compressive force in order to deform the optical element. The light source is configured for targeted illumination of the photostrictive component in order to induce the tensile and/or compressive force in the photostrictive component.