도가니, 증발 소스, 증발 방법, 증발 시스템, 및 디바이스를 제조하는 방법

재료를 증발시키기 위한 도가니가 설명된다. 도가니는 증발될 재료를 포함하도록 구성되는 제1 재료 구획, 제1 재료 구획을 가열하기 위한 제1 히터, 증발될 재료를 포함하도록 구성되는 제2 재료 구획, 및 제2 재료 구획을 가열하기 위한 제2 히터를 포함한다. 증기 유도 구획이 제공된다. 증기 유도 구획은 제1 재료 구획과 증기 유도 구획 사이에서 제1 유체 연통 경로를 제공하는 제1 개구를 구비하고, 제2 재료 구획과 증기 유도 구획 사이에서 제2 유체 연통 경로를 제공하는 제2 개구를 구비한다. 게다가, 증기 유도 구획은 증기 분배기에 연결 가능한 제3 개구를 구비한다. 도가니는 증기 유도 구획을 가열하기 위한 제3 히터를 더 포함한다. A crucible to evaporate a material is described. The crucible includes a first material compartment configured to contain material to be evaporated, a first heater to heat the first material compartment, a second material compartment configured to contain material to be evaporated, and a second heater to heat the second material compartment. A vapor guiding compartment is provided. The vapor guiding compartment has a first opening providing a first fluid communication path between the first material compartment and the vapor guiding compartment and has a second opening providing a second fluid communication path between the second material compartment and the vapor guiding compartment. Further, the vapor guiding compartment has a third opening connectable to a vapor distributor. The crucible further includes a third heater to heat the vapor guiding compartment.