HYBRID SCANNING ELECTRON MICROSCOPY AND ACOUSTO-OPTIC BASED METROLOGY

In accordance with the present invention, disclosed is a method for nondestructive hybrid acousto-optic and scanning electron microscope-based metrology. The method includes the following steps of: (i) acquiring acousto-optic and scanning electron microscope measurement data of a structure to be inspected on a sample; (ii) processing the measurement data to extract values of key measurement parameters corresponding to the acousto-optic measurement data and the scanning electron microscope measurement data, respectively; and (iii) inputting the extracted values into an algorithm to acquire estimated values of at least one structural parameter of the structure to be inspected, wherein the algorithm is configured to output the estimated values of the at least one structural parameter by processing the extracted values jointly. 비파괴 하이브리드 음향-광학 및 주사 전자 현미경 기반 계측을 위한 방법이 본 명세서에 개시된다. 방법은 다음을 포함한다: (i) 샘플 상의 피검사 구조의 음향-광학 및 주사 전자 현미경 측정 데이터를 획득하는 단계; (ii) 측정 데이터를 처리하여 음향-광학 측정 데이터 및 주사 전자 현미경 측정 데이터에 각각 대응하는 주요 측정 파라미터들의 값들을 추출하는 단계; (iii) 추출된 값들을 알고리즘에 입력함으로써 피검사 구조의 하나 이상의 구조적 파라미터의 추정된 값들을 획득하는 단계- 알고리즘은 추출된 값들을 공동으로 처리하여 하나 이상의 구조적 파라미터의 추정된 값들을 출력하도록 구성됨 -.