유량 제어 밸브

파티클의 피 제어 유체로의 혼입을 억제하고, 피 제어 유체의 고도의 청정도를 유지함과 함께, 미소 유량을 고속으로 제어할 수 있는 유량 제어 밸브를 제공한다. 밸브 블록(2)과 다이어프램(1)과 액추에이터(3)를 갖고, 밸브 블록(2)의 상류측 부분(2a) 내에 형성된 일측의 유로에 유입된 유체를, 다이어프램(1)이 액추에이터(3)로부터 받는 미소 압력에 의해, 밸브 블록(2) 내측면과 다이어프램(1) 내측면과의 간극을 거쳐, 밸브 블록(2)의 하류측 부분(2b) 내에 형성된 타측의 유로로부터 유체를 배출한다. 다이어프램(1)의 주...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: TSUTSUMI RYOSUKE, SHINMURA HIDENOBU, NOGUCHI MICHITAKA, FUKUDA MASARU, KIDO KEIJI
Format: Patent
Sprache:kor
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