유량 제어 밸브

파티클의 피 제어 유체로의 혼입을 억제하고, 피 제어 유체의 고도의 청정도를 유지함과 함께, 미소 유량을 고속으로 제어할 수 있는 유량 제어 밸브를 제공한다. 밸브 블록(2)과 다이어프램(1)과 액추에이터(3)를 갖고, 밸브 블록(2)의 상류측 부분(2a) 내에 형성된 일측의 유로에 유입된 유체를, 다이어프램(1)이 액추에이터(3)로부터 받는 미소 압력에 의해, 밸브 블록(2) 내측면과 다이어프램(1) 내측면과의 간극을 거쳐, 밸브 블록(2)의 하류측 부분(2b) 내에 형성된 타측의 유로로부터 유체를 배출한다. 다이어프램(1)의 주연부와 밸브 블록(2)의 상단면은 용착되어 일체화되고, 해당 용착부의 다이어프램(1)의 내주면과 밸브 블록(2)의 내주면과의 사이에 단차 및 간극이 없고, 다이어프램(1)의 내주면과 밸브 블록(2)의 내주면은 동일면이다. Provided is a flow rate control valve that is capable of suppressing contamination of a controlled fluid by particles, maintaining a high level of cleanness of the controlled fluid, and rapidly controlling a minute flow. The flow rate control valve comprises a valve block (2), a diaphragm (1), and an actuator (3). Due to minute pressure received by the diaphragm (1) from the actuator (3), a fluid which has flowed through one flow path formed in an upstream part (2a) of the valve block (2) passes through a gap between an inner surface of the valve block (2) and an inner surface of the diaphragm (1), and is discharged from another flow path formed in a downstream part (2b) of the valve block (2). A peripheral part of the diaphragm (1) and an upper end surface of the valve block (2) are welded so as to be integral with each other. There is no level difference or gap between the inner peripheral surface of the diaphragm (1) and the inner peripheral surface of the valve block (2) at the welded part, and the inner peripheral surface of the diaphragm (1) and the inner peripheral surface of the valve block (2) are flush.