OPTICAL MEASUREMENT SYSTEM WITH MULTIPLE LAUNCH SITES

Various embodiments disclosed herein describe optical measurement systems for characterizing a sample. The optical measurement systems may selectively emit light from different numbers of launch groups, and may include a multi-stage optical switch network which may be controlled to transmit light to...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: TU YONGMING, GAN LUCIA, TERREL MATTHEW A, GREENING THOMAS C, PELC JASON S, ARBORE MARK A
Format: Patent
Sprache:eng ; kor
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Beschreibung
Zusammenfassung:Various embodiments disclosed herein describe optical measurement systems for characterizing a sample. The optical measurement systems may selectively emit light from different numbers of launch groups, and may include a multi-stage optical switch network which may be controlled to transmit light to a desired number of launch groups. The optical measurement systems may further measure light using a corresponding number of detector groups. The optical measurement systems may perform measurements using a plurality of different wavelengths, wherein different groups of these wavelengths may be measured using different numbers of launch groups (as well as corresponding detector groups). 본 명세서에 개시된 다양한 실시예들은 샘플을 특징짓기 위한 광학 측정 시스템을 설명한다. 광학 측정 시스템은 상이한 개수의 발사 그룹들로부터 선택적으로 광을 방출할 수 있고, 원하는 개수의 발사 그룹들로 광을 전송하도록 제어될 수 있는 다단계 광학 스위치 네트워크를 포함할 수 있다. 광학 측정 시스템은 대응하는 수의 검출기 그룹들을 이용하여 광을 추가로 측정할 수 있다. 광학 측정 시스템은 복수의 상이한 파장들을 이용하여 측정들을 수행할 수 있고, 이러한 파장들의 상이한 그룹들은 상이한 개수의 발사 그룹들(및 대응하는 검출기 그룹들)을 이용하여 측정될 수 있다.