ELECTROSTATIC CHUCK

An objective is to provide an electrostatic chuck capable of suppressing the influence of a position deviation of a cooling flow path. An electrostatic chuck includes: a ceramic dielectric substrate; and a base plate supporting the ceramic dielectric substrate and including an upper surface on the ceramic dielectric substrate side and a lower surface on the side opposite to the upper surface. The base plate includes a communication path that is installed between the upper surface and the lower surface, and in which a coolant can pass. The communication path includes a first flow path part that includes a pair of side surfaces along a first direction along a flow of the coolant. One side surface of the pair of side surfaces includes: a plurality of convex parts in a convex shape to a second direction directed that is a second direction vertical to a first direction when viewed along the lamination direction of the base plate and the ceramic dielectric substrate in one side surface of the pair of side surfaces to one side surface from the other side surface of the pair of side surfaces; and a plurality of concave parts that form a convex shape to a direction opposite to a second direction. In the electrostatic chuck, the plurality of convex parts and the plurality of concave parts are alternately arranged. (과제) 냉매 유로의 위치 어긋남의 영향을 억제할 수 있는 정전 척을 제공하는 것을 목적으로 한다. (해결 수단) 세라믹 유전체 기판과, 세라믹 유전체 기판을 지지하고, 세라믹 유전체 기판측의 상면과, 상면과 반대측의 하면을 갖는 베이스 플레이트를 구비하고, 베이스 플레이트는 상면과 하면 사이에 설치되어 냉매가 통과 가능한 연통로를 포함하고, 연통로는 냉매의 흐름을 따른 제 1 방향을 따르는 한 쌍의 측면을 갖는 제 1 유로부를 포함하고, 한 쌍의 측면 중 일방의 측면은 베이스 플레이트와 세라믹 유전체 기판의 적층방향을 따라 보았을 경우에, 제 1 방향에 대하여 수직인 제 2 방향이고, 한 쌍의 측면 중 타방의 측면으로부터 일방의 측면을 향하는 제 2 방향으로 볼록 형상인 복수의 볼록부와, 제 2 방향과 반대의 방향으로 볼록 형상인 복수의 오목부를 갖고, 복수의 볼록부와 복수의 오목부가 교대로 정렬된 것을 특징으로 하는 정전 척이 제공된다.