프리-프로세싱 기판 샘플들과 포스트-프로세싱 기판 샘플들 매칭

본 명세서의 다양한 실시 예들은 프리-프로세싱 (pre-processing) 기판 샘플들과 포스트-프로세싱 (post-processing) 기판 샘플들을 매칭하기 위한 시스템들, 방법들, 및 매체에 관한 것이다. 일부 실시 예들에서, 프리-프로세싱 기판 샘플들과 포스트-프로세싱 기판 샘플들을 매칭하기 위한 컴퓨터 프로그램 제품이 제공되고, 컴퓨터 프로그램 제품은, 프리-프로세싱 기판을 특성화하는 치수들의 제 1 세트와 연관된 복수의 샘플들 및 포스트-프로세싱 기판을 특성화하는 치수들의 제 2 세트와 연관된 복수의 샘플들을 수신하는 단계; 프리-프로세싱 치수들 중 하나와 매칭될 포스트-프로세싱 치수들 중 하나의 식별을 수신하는 단계; 식별된 프리-프로세싱 치수에 대한 샘플들의 제 1 확률 분포 및 식별된 포스트-프로세싱 치수에 대한 샘플들의 제 2 확률 분포를 생성하는 단계; 및 제 1 확률 분포 및 제 2 확률 분포에 기초하여 식별된 프리-프로세싱 치수의 샘플들을 식별된 포스트-프로세싱 치수의 샘플들에 매칭시키는 단계를 위한 컴퓨터-실행 가능 인스트럭션들이 제공되는 비일시적인 컴퓨터 판독 가능 매체를 포함한다. Various embodiments herein relate to systems, methods, and media for matching pre-processing and post-processing substrate samples. In some embodiments, a computer program product for matching pre-processing and post-processing substrate samples is provided, the computer program product comprising a non-transitory computer-readable on which is provided computer-executable instructions for: receiving a plurality of samples associated with a first set of dimensions characterizing a pre-processed substrate and a plurality of samples associated with a second set of dimensions characterizing a post-processed substrate; receiving an identification of one of the pre-processed dimensions and one of the post-processed dimensions that are to be matched; generating a first probability distribution of samples for the identified pre-processed dimension and a second probability distribution of samples for the identified post-processed dimension; and matching samples of the identified pre-processed dimension to samples of the identified post-processed dimension based on the first probability distribution and the second probability distribution.