MULTI-BEAM PARTICLE BEAM SYSTEM AND METHOD FOR OPERATING SAME

멀티빔 입자 빔 시스템을 동작시키는 방법은, 다수의 입자 빔 각각이 온전한 상태이거나 결함이 있는 다극 요소들을 통과하는 방식으로 다수의 입자 빔을 생성하는 단계; 미리 정해진 평면에서 입자 빔들을 포커싱하는 단계; 다극 요소들의 편향 요소들에 대한 여기를 결정하는 단계; 결정된 여기를 사용하여 온전한 상태에 있는 다극 요소들의 편향 요소들을 여기하는 단계; 및 다극 요소들 중 결함이 있는 편향 요소들에 대하여 결정된 여기를 수정하고, 결함이 있는 다극 요소들의 편향 요소들을 수정된 여기로 여기하는 단계를 포함하고, 수정은 결정된 여기에 대한 보정 여기의 가산을 포함하고, 보정 여기는 결함이 있는 다극 요소의 모든 편향 요소들에 대하여 동일하다. A method of operating a multi-beam particle beam system includes: generating a multiplicity of particle beams such that they each pass through multipole elements that are either intact or defective; focusing the particle beams in a predetermined plane; determining excitations for the deflection elements of the multipole elements; exciting the deflection elements of the multipole elements that are intact with the determined excitations; modifying the determined excitations for the deflection elements of the multipole elements that are defective; and exciting the deflection elements of the defective multipole elements with the modified excitations. Modifying the determined excitations includes adding corrective excitations to the determined excitations. The corrective excitations are the same for all deflection elements of the defective multipole element.