NOVEL SILOXANE POLYMER COMPOSITIONS AND THEIR USE

본 발명은 실록산 중합체 조성물에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 리소그래피 제작 공정에서 사용하기에 적합한 특성을 갖는 실록산 중합체 조성물에 관한 것이다. 본 발명은 또한 이러한 조성물의 합성, 중합 및 가교에 관한 것이다. The present invention provides a method for covering a substrate, and includes the following operations: (a) admixing at least four different silane monomers and at least o...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: HADZIC ADMIR, LEIVO JARKKO, GORDON GRAEME, JAERVITALO HENNA, KAERKKAEINEN ARI, HANNU KUURE MILJA, PESONEN MATTI, KUVAJA RAUNA LEENA
Format: Patent
Sprache:eng ; kor
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