NOVEL SILOXANE POLYMER COMPOSITIONS AND THEIR USE
본 발명은 실록산 중합체 조성물에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 리소그래피 제작 공정에서 사용하기에 적합한 특성을 갖는 실록산 중합체 조성물에 관한 것이다. 본 발명은 또한 이러한 조성물의 합성, 중합 및 가교에 관한 것이다. The present invention provides a method for covering a substrate, and includes the following operations: (a) admixing at least four different silane monomers and at least o...
Gespeichert in:
Hauptverfasser: | , , , , , , , |
---|---|
Format: | Patent |
Sprache: | eng ; kor |
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | Volltext bestellen |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Schreiben Sie den ersten Kommentar!