An apparatus for testing semiconductor with adjustable beam irradiation angle

Provided is a semiconductor device inspection device. The semiconductor device inspection device includes: a base board including a test surface on which a semiconductor device under test is disposed; and a tilting angle control module connected to the semiconductor device under test and controlling a tilting angle of the semiconductor device under test with respect to beam irradiated to a test surface of the base board. According to the semiconductor device inspection device, since the tilting angle of the semiconductor device under test with respect to the beam irradiated to the test surface of the base board can be precisely controlled, defect rate experimental test conditions of the semiconductor device under test can be maintained constant. 반도체 소자의 검사 장치가 제공된다. 피시험 반도체 소자가 배치되는 테스트 면을 포함하는 베이스 보드 및 상기 피시험 반도체 소자와 연결되어, 상기 베이스 보드의 상기 테스트 면으로 조사되는 빔에 대한 상기 피시험 반도체 소자의 틸팅 각도를 제어하는 틸팅 각도 제어 모듈을 포함하는 상기 반도체 소자의 검사 장치에 있어서, 상기 베이스 보드의 상기 테스트 면으로 조사되는 빔에 대한 상기 피시험 반도체 소자의 틸팅 각도를 정밀하게 제어할 수 있어, 피시험 반도체 소자의 불량률 실험 테스트 조건이 일정하게 유지될 수 있다.