분해 세정 조성물 및 그 제조 방법, 및 접착성 폴리머의세정 방법

높은 에칭 속도를 나타내는 분해 세정 조성물의 제공. 비프로톤성 용매로서 (A) 아미드 질소 원자에 2개의 알킬기가 결합한 N-치환 아미드 화합물 및 (B) 제4급 불화알킬암모늄 또는 그 수화물을 함유하는 분해 세정 조성물로서, (A) N-치환 아미드 화합물의 아미드 질소 원자의 α위치에 있는 탄소 원자 상의 2개의 수소 원자가 옥소기로 치환된 화합물인 N-치환 아미드 산화 유도체의 함유량이 550질량ppm 이하인 분해 세정 조성물. Provided is a decomposing/cleaning composition having a...

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Hauptverfasser: MIYAHARA KUNIAKI, NAKAZAKI SUSUMU
Format: Patent
Sprache:kor
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