3단 터보분자 펌프와 부스터 펌프를 이용한 질량-분석 누출 감지 장치

질량분석기(12); 그의 입력 스테이지(18)는 질량분석기(12)에 연결되고 입력 펌프 스테이지(18)와 중간 펌프 스테이지(26) 사이에 배치된 제1 중간 가스 입구(36) 및 중간 펌프 스테이지(26)와 출력 펌프 스테이지(24) 사이에 배치된 제2 중간 가스 입구(42)를 갖는 적어도 3단인 터보분자 펌프(14); 그의 입력 펌프 스테이지(46)는 검사할 시편에 연결될 수 있고 입력 펌프 스테이지(46)와 출력 펌프 스테이지(48) 사이에 배치된 중간 가스 출구(54)를 갖는 적어도 2단인 부스터 펌프(44); 및 터보분자 펌프(14)의 출력 펌프 스테이지(24)의 출구(20)에 연결되고 터보분자 펌프(14) 출구(20)에서 50 mbar 미만의 사전-진공 압력을 생성하여 대기압에 대해 배출하도록 구성된 사전-진공 펌프(22)를 포함하며, 부스터 펌프의 중간 가스 출구(54)는 제1 연결 분기(62)를 통해 터보분자 펌프(14)의 제1 중간 가스 입구(36)에 가스-전도 방식으로 연결되고, 부스터 펌프(44)의 출력 펌프 스테이지(48) 출구(56)는 제2 연결 분기(64)를 통해 터보분자 펌프(14)의 상기 제2 중간 가스 입구(42)에 가스-전도 방식으로 연결되는 것을 특징으로 하는 시험편의 누출 감지 장치가 제공된다. The invention relates to a device for leakage detection on a test item, comprising: a mass spectrometer (12); an at least three-stage turbomolecular pump (14), the input stage (18) of which is connected to the mass spectrometer (12) and which has a first intermediate gas inlet arranged between the input pump stage and the central pump stage (26) and a second intermediate gas inlet arranged between the central pump stage (26) and the output pump stage (24); an at least two-stage booster pump, the input pump stage (46) of which can be connected to the test item to be examined and which booster pump has an intermediate gas outlet (54) arranged between the input pump stage (46) and the output pump stage (48); and a forepump (22) which is connected to the outlet (20) of the output pump stage (24) of the turbomolecular pump (14) and is designed to generate a forevacuum pressure of less than 50 mbar at the outlet (20) of the turbomolecular pump (14) and evacuate against atmospheric pressure. The device is characterised in that the intermediate gas outlet (54) of the booster pump is connected in a gas-conducting manner to the first intermediate gas inlet (36) of the turbomolecular pump (14) via a first connecting branch (62), and in that the outlet of the output pump stage (48) of the booster pump is connected in a gas-conducting manner to the second intermediate gas inlet of the turbomolecular pump (14) via a second connecting branch (64).