관리 시스템, 관리 방법 및 관리 프로그램

기판 처리 장치를 자율화시키는 관리 시스템, 관리 방법 및 관리 프로그램을 제공한다. 기판 제조 프로세스를 관리하는 관리 시스템으로서, 상기 기판 제조 프로세스를 실행하는 기판 처리 장치의 상태를 감시하여 소정의 현상을 검출하는 복수 개의 에이전트와, 어느 에이전트에서 소정의 현상이 검출된 경우에 검출된 현상에 기초하여 에이전트 간에 정보를 송수신하는 전송 경로를 포함하며, 상기 에이전트는 상기 기판 제조 프로세스의 지표값이 최적화되도록 상기 전송 경로를 통해 송수신되는 정보에 기초하여 상기 기판 처리 장치에 실행할 지시를 도출한다...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	MOKI HIRONORI, KATAOKA YUKI, MATSUZAWA TAKAHITO, UOYAMA KAZUYA, MORIYA TSUYOSHI
Format:	Patent
Sprache:	kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL CONTROLLING ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS ORELEMENTS PHYSICS REGULATING SEMICONDUCTOR DEVICES
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Beschreibung
Zusammenfassung:	기판 처리 장치를 자율화시키는 관리 시스템, 관리 방법 및 관리 프로그램을 제공한다. 기판 제조 프로세스를 관리하는 관리 시스템으로서, 상기 기판 제조 프로세스를 실행하는 기판 처리 장치의 상태를 감시하여 소정의 현상을 검출하는 복수 개의 에이전트와, 어느 에이전트에서 소정의 현상이 검출된 경우에 검출된 현상에 기초하여 에이전트 간에 정보를 송수신하는 전송 경로를 포함하며, 상기 에이전트는 상기 기판 제조 프로세스의 지표값이 최적화되도록 상기 전송 경로를 통해 송수신되는 정보에 기초하여 상기 기판 처리 장치에 실행할 지시를 도출한다. A management system for managing a substrate manufacturing process includes agent units configured to monitor a state of a substrate processing device that performs the substrate manufacturing process and detect a predetermined event, and transmission paths configured to, when a predetermined event is detected in any one of the agent units, transmit and receive information between the agent units based on the detected event, wherein the one agent unit derives an instruction to the substrate processing device based on the information transmitted and received via the transmission paths so that an index value of the substrate manufacturing process is optimized.