멀티빔 전자 스캔

스와싱을 사용하는 멀티빔 전자 스캐닝 시스템. 시스템은 조명 빔을 방출하도록 구성된 전자 이미터 소스를 포함한다. 조명 빔은 빔 스플리터 렌즈 어레이에 의해 다수의 전자 빔들로 분할된다. 시스템은 또한, 2개의 상이한 축들을 따라 제1 방향을 포함하는 복수의 방향들로 전자 빔들 각각을 편향시키도록 구성된 전자 편향 시스템을 포함한다. 마지막으로, 제1 방향에 평행한 제2 방향으로 일정한 속도로 샘플을 이동시키도록 스와싱 스테이지가 사용된다. A multi-beam electronics scanning system using swathing. The system includes an electron emitter source configured to emit an illumination beam. The illumination beam is split into multiple electron beams by a beam splitter lens array. The system also includes an electronic deflection system configured to deflect each of the electron beams in a plurality of directions, including a first direction, along two different axes. Last, a swathing stage is used to move a sample with a constant velocity in a second direction that is parallel to the first direction.