SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND SUBSTRATE PROCESSING METHOD

After various types of processing is performed on a substrate of a frame unit, the frame unit can be observed to determine whether the processing is completed. A substrate processing apparatus (1) for processing a frame unit (9) in which a substrate (90) is supported in the opening of a frame (92) through a support member (91), comprises: a holding table (3) having a holding surface (302) for holding the substrate (90) and at least a portion of the support member (91); and a processing unit (16) processing the frame unit (9) held on the holding table (3). The holding surface (302) has: a substrate holding region (306) holding the substrate (90); and a support member holding region (307) holding the support member (91) exposed between the substrate (90) and the frame (92). The support member holding region (307) includes a transfer portion (308) formed in a concave shape. The support member (91) is attracted and held in the support member holding region (307), and the transfer portion (308) is transferred to the support member (91), so that a mark on which processing of the processing unit (16) is performed is formed. [과제] 프레임 유닛의 기판에 각종 처리를 실시한 후, 프레임 유닛을 보고서 처리가 완료하였는지의 여부를 판정할 수 있게 한다. [해결수단] 프레임(92)의 개구에 지지 부재(91)를 통해 기판(90)이 지지된 프레임 유닛(9)을 처리하는 기판 처리 장치(1)로서, 기판(90)과, 지지 부재(91)의 적어도 일부를 유지하는 유지면(302)을 갖는 유지 테이블(3)과, 유지 테이블(3)에 유지된 프레임 유닛(9)을 처리하는 처리 유닛(16)을 구비하고, 유지면(302)은, 기판(90)을 유지하는 기판 유지 영역(306)과, 기판(90)과 프레임(92) 사이에서 노출되는 지지 부재(91)를 유지하는 지지 부재 유지 영역(307)을 갖고, 지지 부재 유지 영역(307)은, 오목형으로 형성된 전사부(308)를 포함하고, 지지 부재 유지 영역(307)에 지지 부재(91)가 흡인 유지됨으로써 지지 부재(91)에 전사부(308)가 전사되어, 처리 유닛(16)에 의한 처리가 실시된 표시로 하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치(1).