Substrate transferring system including charging function

The technical idea of the present invention provides a substrate transfer system, which includes: a mobile robot configured to handle a substrate carrier and comprising a power receiver; a mobile robot interface device configured to handle the substrate carrier and comprising a power feeder configured to supply an electromotive force to the power receiver of the mobile robot; an actuator configured to move at least one of the power receiver and the power feeder to adjust a distance between the power feeder and the power receiver; an identification tag disposed on any one of the mobile robot and the mobile robot interface device; a tag reader configured to recognize the identification tag; and a controller configured to control an operation of the mobile robot and to control an operation of the actuator, and the controller is further configured to control the actuator so as to adjust the distance between the power feeder and the power receiver. The present invention can increase substrate carrier transfer efficiency. 본 발명의 기술적 사상은 기판 캐리어를 취급하도록 구성되며, 수전부를 포함하는 모바일 로봇; 상기 기판 캐리어를 취급하도록 구성되며, 상기 모바일 로봇의 수전부에 기전력을 공급하도록 구성된 급전부를 포함하는 모바일 로봇 인터페이스 장치; 상기 급전부와 상기 수전부 사이의 거리가 조절되도록, 상기 급전부 및 상기 수전부 중 적어도 하나를 이동시키는 액츄에이터; 상기 모바일 로봇 및 상기 모바일 로봇 인터페이스 장치 중 어느 하나에 배치된 식별 태그; 상기 식별 태그를 인식하도록 구성된 태그 리더기; 및 상기 모바일 로봇 및 상기 액츄에이터 각각의 동작을 제어하도록 구성된 제어부;를 포함하고, 상기 제어부는 상기 액츄에이터를 제어하여 상기 급전부와 상기 수전부 사이의 거리를 조절하도록 구성된 기판 이송 시스템을 제공한다.