제어 장치, 조정 방법, 리소그래피 장치 및 물품의제조 방법

제어 대상을 제어하기 위한 제어 신호를 발생하는 제어 장치이며, 상기 제어 대상의 제어 편차에 기초하여 제1 신호를 발생시키는 제1 보상기와, 계수를 조정 가능한 연산식에 따라서 상기 제어 편차를 보정함으로써 보정 신호를 발생시키는 복수의 조정부 중, 하나의 조정부를 사용하여 상기 제어 편차를 보정하는 보정기와, 상기 보정 신호에 기초하여, 뉴럴 네트워크에 의해 제2 신호를 발생하는 제2 보상기와, 상기 제1 신호와 상기 제2 신호에 기초하여 상기 제어 신호를 발생하는 연산기를 구비한다. The present invention is a control device that generates a control signal for controlling a control object, said control device comprising: a first compensator that generates a first signal on the basis of the control deviation of the control object; a corrector that corrects the control deviation using one adjustment unit among a plurality of adjustment units that generate a correction signal by correcting the control deviation according to a calculation formula with which a coefficient can be adjusted; a second compensator that generates a second signal using a neural network, on the basis of the correction signal; and a calculation unit that generates the control signal on the basis of the first signal and the second signal.