냄비형 중공체, 특히 반도체 웨이퍼 또는 EUV 리소그래피 마스크용 운반 용기를 취급하기 위한 장치 및 방법

본 발명은 냄비형 중공체(10), 보다 구체적으로는 반도체 웨이퍼 또는 EUV 리소그래피 마스크용 운반 용기를 취급하기 위한 장치(12)에 관한 것으로서, 상기 장치는: 내부 공간(16)을 둘러싸는 벽(14), 상기 내부 공간(16) 내에서 중공체(10)를 이동시키기 위해 내부 공간(16)에 배치된 그리핑 및 이동 장치(17); 및 벽(14)에 의해 형성되고 폐쇄체(28)에 의해 폐쇄 가능하며 내부 공간(16)에 접근할 수 있는 벽 개구부(26)를 포함하며, 상기 장치(12)는 커버(44)에 제거 가능하게 연결될 수 있는 적어도 하나의 커버 취급 유닛(54, 102)을 포함하고, 커버(44)는 커버 취급 유닛(54, 102)에 연결될 수 있으며 중공체(10)로부터 분리될 수 있다. 또한, 본 발명은 이에 상응하는 방법에 관한 것이다. A device for handling pot-shaped hollow bodies, more particularly transport containers for semiconductor wafers or for EUV lithography masks includes a wall, which encloses an inner space, a gripping and moving apparatus arranged in an inner space for moving the hollow body within the inner space and a wall opening which is formed by the wall, can be closed by a closure body and through which the inner space is accessible. The device includes a lid handling unit which can be detachably connected to the lid. The lid can be connected to the lid handling unit and is separated from the hollow body.