image sensor
According to the present invention, an image sensor comprises: a first pixel; a second pixel arranged near the first pixel; a pixel separation structure between the first pixel and the second pixel; a rear surface reflection prevention layer arranged on the first pixel, the second pixel, and the pix...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; kor |
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Zusammenfassung: | According to the present invention, an image sensor comprises: a first pixel; a second pixel arranged near the first pixel; a pixel separation structure between the first pixel and the second pixel; a rear surface reflection prevention layer arranged on the first pixel, the second pixel, and the pixel separation structure; and a fence structure arranged on the rear surface reflection prevention layer to correspond to the pixel separation structure. The fence structure includes a barrier metal layer and a fence. The second height of the barrier metal layer is lower than the first height of the fence. The second width of the barrier metal layer is narrower than the first width of the fence. Therefore, sensitivity can be improved.
본 발명의 이미지 센서는 제1 픽셀; 상기 제1 픽셀과 인접하여 배치된 제2 픽셀; 상기 제1 픽셀과 상기 제2 픽셀 사이의 픽셀 분리 구조체; 상기 제1 픽셀, 상기 제2 픽셀, 및 상기 픽셀 분리 구조체 상에 배치된 후면 반사 방지층; 및 상기 후면 반사 방지층 상에 상기 픽셀 분리 구조체와 대응되게 배치된 펜스 구조체를 포함한다. 상기 펜스 구조체는 배리어 금속층(barrier metal layer) 및 펜스(fence)를 구비하며, 상기 배리어 금속층의 제2 높이는 상기 펜스의 제1 높이보다 작고, 및 상기 배리어 금속층의 제2 폭은 상기 펜스의 제1 폭보다 작다. |
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